主要用于进行微纳米尺度下材料的力学性能的测试与研究，包含材料的硬度、划痕硬度、弹性模量、蠕变、断裂韧度、粘弹性、薄膜与基底结合力等力学行为的研究。
2.2仪器功能：
1）微纳米压痕测试：
主要通过测试压入载荷与压入深度的曲线自动获得材料的硬度、杨氏模量，进而可进行断裂刚度、蠕变性能、弹塑性能、应力释放、粘弹性能等力学参数的评价。
2）微纳米划痕测试：
主要通过测量临界载荷界定涂层薄膜与基底的结合强度、涂层失效形式，薄膜的抗划痕强度与基底的变形尺度等力学性能。
3）能自动计算划痕硬度值。
4）原位成像功能（CCD光学显微镜）：
主要通过仪器自带的高端光学显微镜系统（放大倍数最大为4000倍）自动采集压痕、划痕图像。
（一）高温模块的主要技术参数及指标
温度范围：室温至1600℃；
温度控制精度：±1℃；
（二）复合力学加载测量模块的主要技术参数及指标
1. 纳米压痕模块技术参数（核心产品）：
1.1最大加载载荷：400mN
1.2载荷分辨率：30nN
1.3可实现的最小载荷：0.1mN
1.4典型的噪音水平：<1μN
1.5最大压入深度：250μm
1.6位移噪音背景：0.003nm
1.7热漂移：＜0.05nm/s
2.微米压痕模块技术参数：
2.1最大加载载荷：440N
2.2载荷分辨率：0.6mN
2.3典型的噪音水平：<50mN
2.4可实现的最小载荷：50mN
2.5最大压入深度：1000μm；
2.6位移噪音背景：0.5 nm；
3.纳米划痕模块技术参数：
3.1划痕正向力最大载荷：400mN
3.2划痕正向力最小载荷:0.1mN
3.3划痕侧向力最大载荷：400mN
3.4划痕侧向力最小载荷:0.1mN
3.5最大划痕深度:250μm
3.6最大划痕长度:150mm
3.7划痕速度：0-210mm/min
3.8位移分辨率：0.003nm
4.微米划痕模块技术参数：
4.1划痕正向力最大载荷：40N
4.2划痕正向力最小载荷：50mN
4.3划痕侧向力最大载荷：40N
4.4划痕侧向力最小载荷：50mN
4.5最大划痕深度：300µm
4.6位移分辨率：2nm
4.7最大划痕长度：150mm
4.8划痕速度：0-210mm/min
5.精密定位平台技术参数：
5.1XY方向移动范围：150mm*150mm
5.2Z方向允许的最大样品空间：140mm
5.3工作台XY方向定位分辨率：10nm
5.4工作台XY方向定位精度：200nm
5.5Z方向可自动移动移动范围： 50mm
