主要用于进行微纳米尺度下材料的力学性能的测试与研究,包含材料的硬度、划痕硬度、弹性模量、蠕变、断裂韧度、粘弹性、薄膜与基底结合力等力学行为的研究。
2.2仪器功能:
1)微纳米压痕测试:
主要通过测试压入载荷与压入深度的曲线自动获得材料的硬度、杨氏模量,进而可进行断裂刚度、蠕变性能、弹塑性能、应力释放、粘弹性能等力学参数的评价。
2)微纳米划痕测试:
主要通过测量临界载荷界定涂层薄膜与基底的结合强度、涂层失效形式,薄膜的抗划痕强度与基底的变形尺度等力学性能。
3)能自动计算划痕硬度值。
4)原位成像功能(CCD光学显微镜):
主要通过仪器自带的高端光学显微镜系统(放大倍数最大为4000倍)自动采集压痕、划痕图像。
(一)高温模块的主要技术参数及指标
温度范围:室温至1600℃;
温度控制精度:±1℃;
(二)复合力学加载测量模块的主要技术参数及指标
1. 纳米压痕模块技术参数(核心产品):
1.1最大加载载荷:400mN
1.2载荷分辨率:30nN
1.3可实现的最小载荷:0.1mN
1.4典型的噪音水平:<1μN
1.5最大压入深度:250μm
1.6位移噪音背景:0.003nm
1.7热漂移:<0.05nm/s
2.微米压痕模块技术参数:
2.1最大加载载荷:440N
2.2载荷分辨率:0.6mN
2.3典型的噪音水平:<50mN
2.4可实现的最小载荷:50mN
2.5最大压入深度:1000μm;
2.6位移噪音背景:0.5 nm;
3.纳米划痕模块技术参数:
3.1划痕正向力最大载荷:400mN
3.2划痕正向力最小载荷:0.1mN
3.3划痕侧向力最大载荷:400mN
3.4划痕侧向力最小载荷:0.1mN
3.5最大划痕深度:250μm
3.6最大划痕长度:150mm
3.7划痕速度:0-210mm/min
3.8位移分辨率:0.003nm
4.微米划痕模块技术参数:
4.1划痕正向力最大载荷:40N
4.2划痕正向力最小载荷:50mN
4.3划痕侧向力最大载荷:40N
4.4划痕侧向力最小载荷:50mN
4.5最大划痕深度:300µm
4.6位移分辨率:2nm
4.7最大划痕长度:150mm
4.8划痕速度:0-210mm/min
5.精密定位平台技术参数:
5.1XY方向移动范围:150mm*150mm
5.2Z方向允许的最大样品空间:140mm
5.3工作台XY方向定位分辨率:10nm
5.4工作台XY方向定位精度:200nm
5.5Z方向可自动移动移动范围: 50mm